FFKM är ett högpresterande tätningsmaterial. Dess utmärkta prestanda har gjort det möjligt för dess tillämpning att tränga in i hela tillverkningssystemet för halvledarprodukter. Bland dem är FFKM-tätningsringar en av de viktigaste förbrukningsvarorna som krävs för tillverkning av integrerade kretsar.
strukturen och prestandaegenskaperna hos FFKM
FFKM sampolymeriseras av tetrafluoreten (TFE), perfluoralkylvinyleter (PAVE) som huvudmonomerer och en liten mängd härdningspunktmonomer (CSM). Som visas i figuren nedan, alla kolatomer i polymeren Väteatomerna på gummit är alla ersatta av fluoratomer, vilket gör det till ett gummi som inte innehåller CH-bindningar alls.
Huvudfunktioner för FFKM:
1) Fysikaliska egenskaper
Densiteten för FFKM är 1.9-2.0g/cm³. Dess normala temperaturmekaniska egenskaper ligger nära de för vinylidenfluorid (VDF)-baserad fluorgummi (FKM), men dess mekaniska högtemperaturegenskaper är bättre än fluorgummi.
2) Kemikaliebeständighet
Det finns inga väteatomer i FFKM-molekylkedjan, och CC-bindningarna är i princip omgivna av ett skal som består av F-atomer, vilket visar stark kemisk inerthet och gör polymeren avsevärt resistent mot kemikalier.
3) Hög- och lågtemperaturbeständighet
Driftstemperaturen för FFKM är i allmänhet 260 ~ 290 grader och kan användas intermittent vid höga temperaturer på 316 grader. Eftersom ett stort antal -OCF3-grupper införs i molekylernas grenkedjor, förbättras flexibiliteten hos molekylerna och gummits lågtemperaturbeständighet förbättras.
4) Plasmaresistens
I en plasmamiljö uppvisar den produktegenskaper av hög renhet och låg nederbörd, och tål plasmabombardement under lång tid.
fFKM:s tillämpningar inom halvledare
Vid halvledartillverkning är tillförlitligheten hos elastomera tätningar avgörande eftersom produktionsstopp för att ersätta tätningar är extremt kostsamma. För att undvika potentiella risker är kraven på tätningars renhet och renhet mycket stränga. Samtidigt måste tätningarna kunna arbeta under lång tid i tryckmiljön med hög temperatur, högvakuum och frätande kemiska gaser.
När det gäller halvledarapplikationer fokuserar FFKM främst på:
1) Gastätning: I halvledartillverkningsprocessen är bearbetning och transport av olika gaser avgörande. FFKM O-ring används för att täta gasledningar, ventiler och skarvar för att säkerställa att gas inte läcker och bibehålla processstabilitet.
2) Etsning och rengöring: Etsnings- och rengöringssteg i halvledarprocesser involverar ofta användning av frätande media som starka syror eller alkalier. FFKM O-ringar används i stor utsträckning i utrustningsdelar i kontakt med dessa medier, såsom etsningskammare, rengöringstankar, etc. på grund av deras utmärkta korrosionsbeständighet.
3) Vätske- och kemikalietransport: Vid halvledartillverkning måste olika vätskor och kemikalier transporteras, såsom lösningar, lösningsmedel, rengöringsvätskor, etc. FFKM O-ring kan användas för att täta utrustningskomponenter såsom rör, ventiler och pumpar för att säkerställa säker leverans av media.
4) Högtemperaturmiljö: Vissa steg i halvledarprocessen måste utföras i en högtemperaturmiljö, såsom värmebehandling, glödgning, etc. FFKM O-ringar har utmärkt högtemperaturbeständighet och kan bibehålla sin elasticitet och tätning egenskaper vid höga temperaturer.
5) Ultrarent vattenbehandling: Vid halvledartillverkning används ultrarent vatten för att rengöra och rena utrustning och material. FFKM O-ringar används ofta för att täta ultrarent vattenbehandlingsutrustning för att förhindra att föroreningar och föroreningar tränger in.
På grund av de höga kostnaderna för FFKM gummiråvaror är arbetsförhållandena där FFKM tätningar vanligtvis används extremt hårda. Under dessa tuffa arbetsförhållanden är andra gummin benägna att korrosion, svälla, lösas upp, åldras och härda, etc., vilket resulterar i tätningsfel och kan därför inte uppfylla tätningskraven. På grund av sin utmärkta korrosionsbeständighet och höga temperaturbeständighet kan FFKM-gummi inte bara uppfylla tätningskraven för tuffa arbetsförhållanden, utan också öka tätningarnas livslängd och minska kundernas underhållskostnader.
